Осуществление диффузии Zn при уровнях концентрации, которые необходимы для образования р — n-перехода, возможно во всех полупроводниковых соединениях AIUBV..Диффузия происходит в соответствии с механизмом диффузии по междоузлиям с замещением. В этой модели предполагается, что скорость диффузии по междоузлиям значительно выше, чем скорость диффузии атомов замещения по узлам, и поэтому она является преобладающей в процессе диффузии. […]
СВЕТОДИОДЫ
Диффузионные переходы для светодиодов
Если для изготовления р *— n-переходов светодиодов применяется процесс диффузии, то необходимо контролировать следующие параметры: глубину залегания р — п-перехода; вводимые при диффузии неоднородности кристалла и степень однородности плоскости р — п-перехода; оптические свойства диффузионного слоя; центры безызлучательной рекомбинации, возникающие во время диффузии. Этими параметрами можно управлять, выбирая: источник диффузии; температуру диффузии; продолжительность диффузии; полупроводниковый […]
ИЗГОТОВЛЕНИЕ р — n-ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ ДИФФУЗИИ
Технология изготовления р ‘■— л-перехода существенно влияет и на квантовый выход излучения в р — n-переходе, и на вывод света из полупроводникового материала. Для изготовления одной или обеих областей р — n-переходов в полупроводниковых материалах типа AUIBV можно использовать диффузию, газовую и жидкостную эпитаксии. В табл. 5.1 приведены характеристики обычно используемых материалов для светодиодов, на […]
Метод роста кристаллов по Чохральскому под флюсом
Этот метод в настоящее время наиболее успешно применяется при промышленном изготовлении кристаллов GaP большого диаметра [24], а также является наиболее перспективным методом получения слитков GaAs [20, 25]. Схема установки для вытягивания кристаллов под высоким давлением показана на рис. 5.6 [26]. Стехиометрический расплав GaP окружен расплавленной окисью бора В203. Остальной объем системы заполнен инертным газом, находящимся […]
Синтез и рост кристаллов из расплава
Интересными с экономической точки зрения и пригодными для GaAs и GaP методами, которые объединяют синтез материала и рост кристаллов в одной установке, являются горизонтальный метод по Бриджмену для GaAs [17] и метод синтеза и диффузии в растворе для GaP [18]. Следует отметить, что последний процесс дает поликристаллический материал такой чистоты, что его можно непосредственно использовать […]
ТЕХНОЛОГИЯ РОСТА КРИСТАЛЛОВ
Техника очистки элементов, используемых при синтезе соединений AIHBV, хорошо известна и описана в работе [1]. Здесь мы рассмотрим только синтез и рост кристаллов двух соединений, обычно применяемых для изготовления подложек, — GaAs и GaP. Химические и кристаллографические свойства этих материалов близки, поэтому результаты, справедливые для одного материала, обычно верны и для другого, В отлрчие от […]
ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕТОДИОДОВ
Технология изготовления полупроводников середины 60-х годов оказала сильное влияние на развитие технологии изготовления светодиодов. В это время выращивали большие кристаллы GaAs для подложек, а технология кремниевых приборов была высоко развита. Эпитаксиальные слои кремния и GaAs наносились в промышленном масштабе с помощью метода газовой эпитаксии; распространенным методом получения р — «-переходов была диффузия. Поэтому не удивительно, […]
СРАВНЕНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ СВЕТОДИОДОВ С ЛЮМИНОФОРНЫМ ПОКРЫТИЕМ
Лучшие антистоксовы люминофоры для зеленой области спектра были изготовлены на основе фторидов редкоземельных элементов. Были разработаны новые люминофоры на основе NaYF4, которые по своим характеристикам превосходят люминофор Y2O2S : Yb, Er, примерно соответствующий лучшим фторидам (табл. 4.1). Из табл. 4.1 видно, что оксисульфидные люминофоры обладают достаточно хорошими характеристиками при уровнях возбуждения, меньших 1 Вт/см2; такие […]
ИСТОЧНИКИ ИНФРАКРАСНОГО ВОЗБУЖДЕНИЯ И ОПТИЧЕСКОЕ СОГЛАСОВАНИЕ
Важнейшим фактором о оптическом согласовании светодиодов с люминофорным покрытием является соответствие спектров люминесценции инфракрасных светодиодов и спектров поглощения ионов сенсибилизатора Yb. Для эффективных полусферических диодов (рис. 4.4), изготовленных из GaAs, слабо легированного кремнием, перекрытие этих спектров невелико. Если бы удалось осуществить сдвиг максимума ИК-излучения светодиода с 930 нм в область больших длин волн (~960— 970 […]
ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИК-ИЗЛУЧЕНИЯ В ВИДИМЫЙ СВЕТ И ВОПРОСЫ КИНЕТИКИ
Коэффициент полезного действия светодиодов, покрытых антистоксовым люминофором, зависит от произведения трех факторов: квантового выхода инфракрасного светодиода, Эффективности, с которой ИК-излучение вводится в люминофор, и, наконец, коэффициента преобразования ИК-излучения в видимое внутри люминофора. В разд. 4.3 мы увидим, что использование этих светодиодов в основном зависит от третьего фактора (т. е. от наличия антистоксовых люминофоров с достаточно […]