Диффузионные переходы для светодиодов


Если для изготовления р *— n-переходов светодиодов применяется процесс диффузии, то необходимо контролировать следующие параметры:
глубину залегания р — п-перехода;
вводимые при диффузии неоднородности кристалла и степень однородности плоскости р — п-перехода; оптические свойства диффузионного слоя; центры безызлучательной рекомбинации, возникающие во время диффузии.
Этими параметрами можно управлять, выбирая: источник диффузии; температуру диффузии; продолжительность диффузии; полупроводниковый материал требуемого качества.