Фактором, оказывающим влияние на разрешение, является также топология подложки, которая может иметь рельеф, создан­ный предыдущими операциями. При оптическом экспонировании происходит интерференция света, отраженного от подложки и краев топологического рельефа. Этот эффект особенно характерен для субмикронной области. При экспонировании пучком электронов наблюдается рассеяние электронов в обратном направлении, что делает невозможным дости­жение высоких значений AR. Использование системы […]

Термин «неорганические резисты» впервые использовал Син — клэйр с сотрудниками [138] при изучении Fe203. Облученный по­током электронов материал в этом случае растворяется в 6М НС1 несравненно медленнее, чем необлученный, и ведет себя как нега­тивный резист. Чувствительность, однако, по сравнению с органи­ческими резистами гораздо ниже. Интерес к неорганическим резистам возрос после опубликова­ния ряда работ [139, пат. […]

Существует симбатность между чувствительностью резистов при электронной и рентгеновской литографии (рис. VII. 27). Рент­геновские спектры поглощения могут быть рассчитаны из таблич­ных значений атомных коэффициентов поглощения и эмпирическим методом определена плотность полимеров по отношению к этому излучению [132]. Различия в способах переноса энергии между электронным и рентгеновским излучением привели, однако, к полу­чению специальных резистов, предназначенных прежде […]

В качестве позитивных электронорезистов, помимо фоторези­стов, испытывались прежде всего полимеры, действие элек­тронного излучения на которые было изучено ранее. В отличие от негативных резистов в этом случае в первую очередь были вы­браны полимеры с высоким значением G(S) и минимальным или нулевым значением G(X). К изученным первым полимерам отно­сятся ПМСТ, ПММА, ПБМА, ПФМА, ПИБ и некоторые другие. […]

При отборе полимерных материалов, потенциально пригодных для использования в качестве негативных электронорезистов, сна­чала исходили из общих сведений о взаимодействии полимеров с ионизирующим излучением. По этой причине первыми были опро­бованы полимеры с высокими значениями G(X) и минимальными или нулевыми значениями G(S). Одними из детально изученных полимеров с хорошей, как это было известно, чувствительностью к электронному излучению, […]

В настоящем разделе рассматриваются материалы, которые испытаны или внедрены в промышленности в качестве негативных и позитивных электронорезистов. Однако возможность их практи­ческого использования в конкретных технологических процессах обязательно должна быть проверена экспериментально [68, 84]. ТАБЛИЦА VII. 2. Чувствительность промышленных фоторезистов при экспонировании пучком электронов н — негативный; п —позитивный резист. Фоторезист Ускоряющее напряжение. кВ Толщина пленки, […]

Применение электроно — и рентгенорезистов, как и фоторезистов, требует оценки их чувствительности G, разрешающей способности и контрастности у. Здесь наблюдаются особенности, обусловлен­ные природой актиничного излучения. Для оценки чувствительности электроно — резиста используют два способа: либо вы­ражают чувствительность радиационно­химическим выходом структурирования G(X) или деструкции G(S) (их определе­ние см. в разделе VII.2), либо получают кривую чувствительности и […]

В ПС ионизирующее излучение вызывает образование как ионов, так и возбужденных состояний. Измерением электрической проводимости установлен сдвиг главным образом положительных зарядов на расстояние около 0,5 мкм при комнатной температуре. Образование возбужденных состояний может быть результатом как внутри-, так и межмолекулярного переноса энергии, что зависит в первую очередь от физического состояния полимера при облучении. Харрах [57], […]

Появление заряженных частиц в результате переноса энергии ионизирующего излучения в ПЭ было доказано при измерении электрической проводимости, причем химические превращения в ПЭ гораздо заметней, чем у низкомолекулярных алканов. Под действием радиации выделяется водород [54], например, по ре­акции: (VII. 34) —СН2СН2СН2— Н2 + —СН2СН=СН— В результате миграции радикальных центров могут также воз­никать виниленовые связи [55]. Кроме […]

Самым распространенным полимером эфиров метакриловой кислоты является ПММА, поэтому с ним проводились первые эксперименты по действию ионизирующего излучения. Фокс и Прайс [41] определили, что степень деструкции главной полимер­ной цепи ПММА понижается или повышается при помощи доба­вок, триплетное состояние которых ниже или выше, чем у низшего вероятного триплетного состояния полимера. Это указывает на за­селение триплетов при […]