Схема автоматизированного процесса сборки, приварки выводов и герметизации при изготовле­нии транзистора КТ-315 показана на рис. 1 (лист 229). В процессе шагового перемещения ленты производится ее перфорация пробивкой фигурных отверстий (рис. 1,я), укладка и пайка кристалла (рис.1,6), приварка выводов к кристаллу и обрезка их в размер пламенем горелки (рис. 1, в), развод­ка выводов на ленту и приварка их к перемычкам ленты (рис. 1, г) , обрезка перемычек ленты со стороны кристалла (рис. 1, д). Герметизация кристалла и электродных выводов осуществляется оку­нанием их в форму с жидкой пластмассой (рис. 1, е), и только на заключительной операции обрубают непрерывную кромку ленты, получая готовые изделия (рис. 1,ж, з).

Металлические корпуса полупроводниковых приборов герметизируют с помощью сварки. Поло­жение кромок при герметизации электронно-лучевой сваркой показано на рис. 2. Корпус вращают вокруг оси, перпендикулярной к оси электронного луча. Такой технологический прием позволяет герметизировать корпуса как круглой, так и прямоугольной (рис. 3, а, 6) формы, что дает возмож­ность обойтись без копировальных устройств для перемещения луча по заданному контуру.

Операция герметизации может быть выполнена лазерной сваркой. На рис. 4 показана четырех­местная кассета-манипулятор для герметизации корпусов микросхем. В корпусе 6 установлены че­тыре шпинделя 1 б, закрепленные в основании 14 с помощью шариковых подшипников 13. Враще­ние на шпиндели передается через зубчатые колеса 17, взаимодействующие с рейкой 15, проходя­щей вдоль корпуса. Герметизируемая микросхема 11 устанавливается на столик 12, форма которого соответствует ее конфигурации. Крышка прижимается к корпусу плоской пружиной 2 и башмаком 10, в верхней части которого в подшипнике 9 установлен упор 8. Пружины 2 закреплены на скобе 1, которая устанавливается на кассету по упорам 7 и крепится деталями 5, 4 и 3.

При перемещении рейки 15 все четыре корпуса микросхем одновременно вращаются вокруг своих осей при неподвижном лазерном луче. В случае герметизации прямоугольных корпусов их враще

ние производят ступенчато на 90° и сварку каждого шва ведут при перемещении всей кассеты относительно неподвижного луча.

При герметизации прямоугольных корпусов с закруглениями (лист 230, рис. 6) перемещение из­делию задают с помощью копирного шаблона (рис. 5), приводимого в движение ведущим роликом 5 и прямолинейной направляющей 6. Последовательные положения шаблона при сварке сторон 1 ... 4 изделия и закруглений показаны на позициях I...IX.

Высокую производительность при сварке корпусов любой формы обеспечивает контактная кон­денсаторная сварка. Взаимная центровка соединяемых элементов, исключающая их смещение,

осуществляется сварочными электродами 1 и 5 (рис. 6) с вставками 3. Электроды перемещаются в металлических втулках 2, запрессованных в текстолитовый стакан 6 и разделенных изолирующим кольцом 4. В контакте свариваемых деталей с целью локализации выделяемого при сварке тепла соз­дают рельеф (рис. 7, а, б), что обеспечивает получение надежной герметизации. В случае, если сва­риваемые детали изготовлены из меди и рельеф не обеспечивает требуемой величины сопротивле­ния, в зону контакта вводят дополнительный элемент — фигурное кольцо из никеля (рис. 7, в) . В не­которых случаях для увеличения контактного сопротивления применяют крышки с наклонным фланцем, который соединяется с фланцем основания по схеме рис. 8, а или б.

В случае изготовления корпусов из пластических масс возможна их герметизация холодной свар­кой, достоинством которой является исключение разогрева элементов микросхем. Применяют схему односторонней холодной сварки (рис. 9, а), при которой преимущественно деформируется одна из соединяемых деталей, и схему двусторонней сварки (рис. 9,6), при которой обеспечивается одина­ковое деформирование свариваемых кромок. Значительные пластические деформации при холодной сварке заставляют усложнять конструкцию корпусов.

Для разгрузки оснований полупроводниковых приборов от механических напряжений и исключе­ния повреждений кристалла, выводов и изоляторов в зоне фланцев предусматривают специальные разгрузочные канавки а (рис.10,а, б).

Рис. 8. Схемы перемещения электродов по стыку при сварке', урки на стендеI а, 5-корневого шва;

в — основного шва

Рис. Ч. Последовательность технологических операций изготовления колеса