Получение волокон ИЗ SiC во многом сходно с процессом полу­чения борного волокна при использовании основы из углеродных волокон (см. рис. 10.4). Вместо ВС13 в реактор аналогичного уст­ройства подается смесь алкилсиланов (в смеси с водородом).

Одно из различий между процессами получения борных и SiC-волокон заключается в наличии циркуляционно-очиститель - ной системы, включающей процесс очистки, выделения и удале­ния продуктов олигомеризации силанов. В основном — это алкил - хлорсиланы и дисиланметилены, включающие два атома кремния в структуре Si—С—Si и метальную группу или хлор, связанные с атомом кремния. Потери силана за счет этого процесса соизме­римы с количеством силана, идущего на образование SiC.