В результате постэкспозиционной термообработки (второй тер­мообработки, доотверждения или термозадубливания) все типы резистов приобретают большую химическую стойкость при травле­нии, повышенную адгезию к подложке и меньшую пористость. Про­текающие при этом физико-химические процессы очень важны. У негативных и позитивных резистов при повышенной температуре происходит дальнейшее структурирование и тем самым упрочнение рельефа. При этом удаляются также летучие вещества и улуч­шается распределение полимерной пленки на адгезионных центрах ТАБЛИЦА I. 1. Постэкспозиционная термообработка рельефа [4]

подложки. Слишком высокая температура и чрезмерно длительная выдержка, напротив, могут вызвать ухудшение качества пленки: деформацию рельефа, потерю адгезии, ломкость, разложение, а, следовательно, затруднения при полном снятии пленки резиста с подложки. Температура и время доотверждения зависят также от материала подложки и глубины травления. Условия термообра­ботки для стандартных типов резистов приведены в табл. I. 1. Для электрометаллизации время термообработки необходимо увеличить до 20—30 мин. Позитивные резисты выдерживают более высокие температуры, но их снятие с подложки после этого затрудни­тельно.