Монолитные конструкции приборов
Три типа монолитных конструкций светодиодов, которые рассматриваются ниже, представлены на рис. 6.35. Любую из этих конструкций можно использовать для изготовления цифрового индикатора из семи полосок или буквенно-цифрового индикатора из матрицы 5X7 элементов. Первый тип представляет собой плоскую структуру, пригодную как для прямозонных, так и для непрямозонных полупроводников, р — я-Переходы формируются диффузией или селективной жидкостной эпитаксией. Два других типа выгоднее всего использовать в случае прозрачных полупроводников, так что они будут рассмотрены при обсуждении светодиодов из GaP.
~П - Подложка
—Эпитаксиальный слой v.« v>v>^vuJr ^диффузионный р-п-переход
''Контакт
4 |
Эпитаксиальный слой п-типа - Эпитаксиальный слои p-mutta
Омический контакт
/о ^—Подложка
/Зпитаксиальньш
слой. п~типа
Ь7/Г/^^Щ7У7Л7. ЭпитаксиальньТар-п-переход слой p-muna п
~~Омический контакт
Рис. 6.35. Схема монолитных структур для цифровых и буквенно-цифровых
индикаторов.
а — планарная структура; 6 — меааструктура; в —структура полусферической формы.