Композиции с фотоокислителем и дигидропиридином

Светочувствительная система, разработанная фирмой Dupont (США) [пат. США 4271260], состоит из замещенного 1,4-дигидро - пиридина, например 2,4,5-триметил-3,5-дикарбэтокси-1,4-дигидропи - ридина или 4-пропильного аналога, и гексаарилбисимидазола, на­пример 2-(2-хлорфенил)-4,5-дифенилбисимидазола, взятых в соот­ношении 1:2 (по массе). Эта система препятствует растворению в основании НС, смешанных полимеризатов ненасыщенных соеди­

нений, имеющих кислотную функцию, например Смеси сополимера этилакрилата, метилметакрилата и акриловой кислоты (молярное соотношение 55 : 40 : 15, ММ 26000) и сополимера стирола и малеи - нового ангидрида (молярное соотношение 5:5), взятых в массо­вом соотношении 1 :3,5. В композицию вводят примерно поровну (по массе) светочувствительные и полимерные компоненты; добав­ляют около 10 % от общей массы инертного полимера, например полиэтиленоксида. При экспонировании тонкого слоя композиции, вероятно, идет окисление радикалами триарилимидазола дигидро­пиридина до пиридинового производного. Примеры радикального окисления дигидропиридинов хорошо известны в литературе [47]. Радикал триарилимидазола восстанавливается до аниона имида - зольного производного, который при протонировании дает заме­щенный имидазол. В результате в экспонированной части обра­зуются гидрофильные имидазольные и пиридиновые производные, которые уже не мешают растворению полимера в проявителе — водном карбонатно-бикарбонатном растворе.

Более простая система включает в качестве светочувствитель­ного компонента только 4-(5-нитро-2-фурил)-1,4-дигидропиридины с заместителями в других положениях ядра, например 2,5-диме - тил-3,5-дикарб-грег-бутоксипроизводное [пат. Великобритании 1575281; пат. США 4181531; франц. пат. 2388304]. Примерно 20— 40 % такого соединения вводят в композицию с полимером, имею­щим фенольные (НС) или карбоксильные (например, сополимер малеинового ангидрида со стиролом, 50:50) функции; вводят и добавки: красители, пластификаторы, инертные полимеры и т. д. Композицию наносят из растворителя на алюминиевую подложку (может быть использован и вариант пленочного резиста), полу­чают слой толщиной примерно 20 мкм, однако толщина слоев мо­жет достигать и 150 мкм. Экспонируют через шаблон, проявляют водным раствором NaOH, Na2C03, Na3P04 с добавкой 30% СН3ОСН2СН2ОН. Получают хорошую офсетную печатную форму. Композиция может выполнять роль и резиста в производстве мик­роминиатюрных радиоэлектронных схем. Светочувствительность си­стемы возрастает, если вводить «инициатор» — кетон Михлера, n-диметиламинобензальдегид, гексаарилдиимидазол и т. д.; ве­роятно эти добавки выполняют разные функции: одни являются сенсибилизаторами, другие — окислителями. По-видимому, в моле­куле нитрофурилдигидропиридина нитрогруппа восстанавливается, а дигидропиридиновый фрагмент окисляется; образуется гидро­фильное соединение, не мешающее полимеру растворяться в ще­лочи. Пути превращения дигидропиридинов в слое требуют изуче­ния. Ранее была предложена аналогичная система с 4-(2-нитрофе­нилом) в замещенном дигидропиридиновом ядре [пат. ФРГ 2242106]. Полимерной основой служили гидроксипропил - и гид - роксиэтил целлюлоза, НС; системы с 3- и 4-нитрогруппами не были светочувствительными. В целом светочувствительность ком­позиций у соединений с нитрофенильными группами ниже, чем у соединений с фурановыми аналогами; при этом у первых хуже й дифференциация растворимости фотолизованных и неэкспониро­ванных участков.

Комментарии закрыты.