Адсорбция низкомолекулярных веществ из газовой фазы и по­следующая их полимеризация на поверхности подложки позволяют получать наиболее тонкие покрытия, нередко соизмеримые по тол­щине с адсорбционными слоями полимеров. Такие покрытия суще­ственно отличаются по структуре и свойствам от обычно получае­мых толстых покрытий. Например, в случае кристаллических поли­меров в пленках не наблюдается ярко выраженной кристаллической структуры: покрытия, как правило, нерастворимы, отличаются хо­рошей сплошностью, имеют высокую адгезию, что объясняется хе - мосорбционными процессами.

Тонкие пленки на металлах получают с целью: а) направленного изменения химической природы их поверхности и 6) химической, электрической или другой изоляции. Для получения тонких и сверх­тонких покрытий (от долей микрометра до 10 мкм) применяют три способа:

1) полимеризацию органических соединений под дейсгвием элек­тронно-ионной бомбардировки (ускоренных электронов и тлеющего разряда);

2) разложение (эмиссия) полимеров в вакууме с последующей конденсацией и полимеризацией образующихся осколков;

3) пиролитическую полимеризацию циклических соединений.

Все способы находят применение на практике.