Изготовление полупроводниковых пластин
Основные принципы изготовления полупроводниковых пластин рассмотрены в разд. 5.3 и 5.4. Для непрямозонных полупроводников, таких, как GaP, длина волнк электролюминес - центного излучения зависит от энергетического положения уровней центров излучательной рекомбинации. Для красных диодов из GaP таким центром является пара ближайших атомов Zn—О, которая дает широкий спектр излучения от красной до ближней инфракрасной области (рис. 6.2). Поскольку спектр излучения фиксирован, то выращивать пластины следует так, чтобы получить максимальный внешний квантовый выход. Величина внешнего квантового выхода це определяется формулой
Лв = il/Л/Ло. (6Л)
где Ці — коэффициент инжекции, г]/—эффективность генерации света и т]0 — коэффициент вывода света или оптическая эффективность. Поскольку красный свет генерируется только в р-области светодиода, то для получения высокого коэффициента инжекции необходимо, чтобы электронный ток преобладал над дырочным и чтобы рекомбинация в области объемного заряда была мала. Коэффициент инжекции, т. е. отношение электронного тока 1е к полному току lF в прямом направлении, опреде - ляется выражением
Л* "lel^F —InJUn, + /ро)- (6.2)
Как уже отмечалось в разд. 2.1.2, составляющие тока при этом определяются выражением
Полагая коэффициенты диффузии электронов и дырок приблизительно равными (D„ « Dp) и считая, что
n)/NA (Hf п, (6.4)
nyND*p, (6.5)
коэффициент инжекции можно записать в виде
Л/ = hlh « nLp/(tiLp + pLn), (6.6)
где п и р — концентрации электронов и дырок по обе стороны р — n-перехода, a Lp и L„ — диффузионные длины неосновных носителей. Из выражения (6.6) следует, что для получения высоких значений ці необходимо иметь ND > Na [3]. Эффективность генерации света определяется относительной концентрацией центров излучательной рекомбинации и эффективностью механизмов безызлучательной рекомбинации. Поэтому в слое p-типа должно быть большое количество пар Zn—О, а вблизи р — я-перехода не должно быть дефектов решетки и нежелательных примесей, которые увеличивают скорость безызлучательной рекомбинации [4]. Таким образом, внутренний квантовый выход
Л/ = Л/Л/ (6.7)
зависит от уровня легирования и условий роста слоев GaP. Для получения оптимальных оптических характеристик нужно, чтобы материал был прозрачен для света, генерируемого в р — п-переходе. Это означает, что концентрация примеси со стороны сильнолегированной n-области не должна превышать ~ 1018 см-3 [5].