Основаны на регистрации тепловых полей, температу­ры или теплового контраста контролируемого объекта. Их применяют для измерения температур, получения ин­формации о тепловом режиме объекта, определения и анализа температурных полей, дефектов типа наруше­ния сплошности (расслоения, трещины и т. п.), выявле­ния дефектов пайки многослойных соединений из метал­лов и неметаллов, склейки металл — металл, металл — неметалл и т. п. Контроль осуществляется с помощью термометров, термоиндикаторов, пирометров, инфракрас­ных микроскопов и радиометров и т. д.

Эти методы также пока применяют ограниченно, в ос­новном в приборостроении для контроля радиоэлектрон­ной аппаратуры. В пленочных проводниках и резисторах выявляют микротрещины, утонения, плохую адгезию, плохой контакт; в микросхемах — плохой контакт, нару­шения теплового контакта, короткие замыкания, пере­грев; в пленочных конденсаторах — токи утечки; в мик­родиодах и микротранзисторах — перегрев, неудовлетво­рительные контакты.

Основаны на регистрации электростатических полей и электрических параметров контролируемого объекта. Их применяют для выявления раковин и других дефек­тов в отливках, расслоений в металлических листах, раз­личных дефектов в сварных и паяных швах, трещин в ме­таллических изделиях, растрескиваний в эмалевых по­крытиях и органическом стекле и т. д. Кроме того, эти методы применяют для сортировки деталей, измерения толщин пленочных покрытий, проверки химического со­става и определения степени термообработки металличе­ских изделий. Наиболее распространенными из этих ме­тодов являются измерение электрического сопротивления, трибоэлектрический, термоэлектрический и др.